测量轴的径向振动或其他振动,RP6605测量振动范围:±500μm,分辨率0.1μm,线性误差:±0.2%RP6608测量振动范围:±1000μm,分辨率0.2μm,线性误差:±0.3%RP6611测量振动范围:±2000μm,分辨率0.5μm,线性误差:±0.5%供电电源:24VDC±0.5V
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